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晶圓生產工藝流程介紹

熱度 1已有 2061 次閱讀2013-3-26 10:27 | 晶圓, 生產, 工藝流程, 介紹

晶圓生產工藝流程介紹
1、 表面清洗
2、 初次氧化
3、 CVD(Chemical Vapor deposition) 法沉積一層 Si3N4 (Hot CVD 或 LPCVD) 。
(1)常壓 CVD (Normal Pressure CVD)
(2)低壓 CVD (Low Pressure CVD)
(3)熱 CVD (Hot CVD)/(thermal CVD)
(4)電漿增強  CVD (Plasma Enhanced CVD)
(5)MOCVD (Metal Organic  CVD) & 分子磊晶成長 (Molecular Beam Epitaxy) 
(6)外延生長法 (LPE) 
4、 涂敷光刻膠   
(1)光刻膠的涂敷 
(2)預烘  (pre bake) 
(3)曝光 
(4)顯影 
(5)后烘  (post bake) 
(6)腐蝕  (etching) 
(7)光刻膠的去除 
5、 此處用干法氧化法將氮化硅去除   
6 、離子布植將硼離子  (B+3)  透過 SiO2 膜注入襯底,形成 P 型阱 
7、 去除光刻膠,放高溫爐中進行退火處理   
8、 用熱磷酸去除氮化硅層,摻雜磷  (P+5)  離子,形成 N 型阱   
9、 退火處理,然后用 HF 去除 SiO2 層   
10、干法氧化法生成一層 SiO2 層,然后 LPCVD 沉積一層氮化硅   
11、利用光刻技術和離子刻蝕技術,保留下柵隔離層上面的氮化硅層   
12、濕法氧化,生長未有氮化硅保護的 SiO2 層,形成 PN 之間的隔離區  
13、熱磷酸去除氮化硅,然后用 HF 溶液去除柵隔離層位置的 SiO2 ,并重新生成品質更好的 SiO2 薄膜 ,  作為柵極氧化層。 
14、LPCVD  沉積多晶硅層,然后涂敷光阻進行光刻,以及等離子蝕刻技術,柵極結構,并氧化生成 SiO2 保護層。   
15、表面涂敷光阻,去除 P 阱區的光阻,注入砷  (As)  離子,形成 NMOS 的源漏極。用同樣的方法,在 N 阱區,注入 B 離子形成 PMOS 的源漏極。   
16、利用 PECVD  沉積一層無摻雜氧化層,保護元件,并進行退火處理。   
17、沉積摻雜硼磷的氧化層   
18、?鍍第一層金屬   
(1)  薄膜的沉積方法根據其用途的不同而不同,厚度通常小于 1um 。
(2)  真空蒸發法( Evaporation Deposition )
(3)  濺鍍( Sputtering Deposition ) 
19、光刻技術定出 VIA 孔洞,沉積第二層金屬,并刻蝕出連線結構。然后,用 PECVD 法氧化層和氮化硅保護層。 20、光刻和離子刻蝕,定出 PAD 位置   
21、最后進行退火處理,以保證整個 Chip 的完整和連線的連接性


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回復 wccd1 2013-4-6 00:00
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