国产毛片a精品毛-国产毛片黄片-国产毛片久久国产-国产毛片久久精品-青娱乐极品在线-青娱乐精品

電子工程網(wǎng)

標(biāo)題: 釋放MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù) [打印本頁(yè)]

作者: qq8426030    時(shí)間: 2013-7-5 10:15
標(biāo)題: 釋放MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)
釋放MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)
濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝,總部位于蘇格蘭的Point 35 Microstructures在SEMICON China期間推出了干法刻蝕模塊與氧化物釋放技術(shù),該技術(shù)為MEMS器件設(shè)計(jì)師提供了更多的生產(chǎn)選擇,同時(shí)帶來(lái)了寬泛的制造工藝窗口,從而使良率得到了提升。
  SVR-vHF氧化物釋放模塊結(jié)合現(xiàn)有的memsstar  SVR-Xe 犧牲性汽相釋放模塊,利用無(wú)水氫氟蒸汽(aHF)來(lái)去除犧牲氧化物,從而釋放MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)。SVR蝕刻方法可以完全地去除犧牲材料而不損害機(jī)械結(jié)構(gòu)或?qū)е吗じ,它同時(shí)提供了高度的可選擇性、可重復(fù)性和均勻性。麥斯艾姆科技,全國(guó)首家P C B(麥斯艾姆知識(shí)課堂)樣板打板,元器件代采購(gòu),及貼片的一站式服務(wù)提供者!SVR保留有干燥的表面,沒(méi)有任何殘留物或水汽,這也省去了包含在濕法工藝中的表面準(zhǔn)備、引入酸、中和以及隨后的干燥等步驟。麥斯艾姆(massembly)貼片知識(shí)課堂,用通俗的文字介紹專(zhuān)業(yè)貼片知識(shí)。
  SVR與CMOS工藝和CMOS晶圓設(shè)施是兼容的,這使得MEMS器件可以像傳統(tǒng)的集成電路一樣在相同的設(shè)施和基板上進(jìn)行生產(chǎn),這也將適用于新類(lèi)型的單片MEMS/CMOS 器件。SVR進(jìn)一步的好處包括減少材料的使用和更低的浪費(fèi)。





作者: pcbkey    時(shí)間: 2015-2-3 16:46
支持一下




歡迎光臨 電子工程網(wǎng) (http://www.qingdxww.cn/) Powered by Discuz! X3.4
主站蜘蛛池模板: 在线观看成人网 | 人人搞人人干 | 国产精品视频久 | 国产又粗又爽又大又长免费视 | 亚洲精品一卡2卡3卡三卡四卡 | 欧美人与动性行为高清视频 | 91视频一区二区 | 日韩欧美一区二区三区在线观看 | 国产在线精品成人一区二区三区 | 夜夜爽天天狠狠九月婷婷 | 国产日产高清欧美一区二区三区 | 欧美日韩视频一区二区在线观看 | 亚洲夜夜骑 | 精品福利视频网 | 国产区在线看 | 韩国福利视频一区二区 | 无吗无卡v清免费 | 欧美日韩在线观看区一二 | av.www| 香蕉久人久人青草青草 | 91麻豆国产免费观看 | 国产欧美日韩精品a在线观看 | 国产a v高清一区二区三区 | 韩国精品在线 | 日韩精品久久一区二区三区 | 四虎在线视频免费观看 | 豆花视频成人 | 青青青视频蜜桃一区二区 | 日韩亚洲人成网站 | 色费女人18毛片a级视频在线 | 日本黄色免费网站 | 精品免费在线视频 | 香蕉依依精品视频在线播放 | 轻轻草在线视频 | 色爱综合网| 麻豆按摩 | 星武神诀在线观看全集免费播放 | 欧美日韩一区二区三区高清不卡 | 又黄又爽一线毛片免费观看 | 男人天堂网站在线 | 久久精品亚洲牛牛影视 |