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標題: EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介 [打印本頁]

作者: qyyb 時間: 2021-2-3 17:35
標題: EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介
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EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介位于高壓端和低壓端的金屬膜片受到過程壓力，通過密封液分別傳送到單晶硅片的上下兩面。在單晶硅片中，有2個振子腔體，2個振子的固有頻率之差就是差壓信號。

真空腔體中的振子是經過精細加工的(H型諧振梁的長約700μm，寬約25μm，厚約5μm)。由于振子H型諧振梁的4端與單晶硅連接，所以當單晶硅變形時，振子振動頻率與壓力差成正比例，固有振動頻率發生變化。

通過永磁體給振子一個磁場，振子的半片和剩余的半片構成一個勵磁電路，測量出該電路的固有頻率，將該固有頻率與另一個振子的固有頻率之差轉換成差壓信號。將差壓信號轉換成4-20mA、脈沖或數字信號輸出。

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