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概述 微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)是微機(jī)電與微電子的有機(jī)結(jié)合，它包括信號(hào)處理電路和控制電路，具有大批量生產(chǎn)、成本低、功耗小等優(yōu)點(diǎn)，是真正意義上的單片集成系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于航空、航天 ...
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