近年來,隨著工業、汽車等市場需求的增加,以GaN、SiC為代表的第三代半導體材料的重要性與優越性逐漸凸顯了出來。同時,隨著第三代半導體材料產業化技術日趨成熟,生產成本不斷降低,使得第三代半導體材料突破傳統硅 ...