釋放MEMS機械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)

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釋放MEMS機械結(jié)構(gòu)的干法刻蝕技術(shù)

濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝，總部位于蘇格蘭的Point 35 Microstructures在SEMICON China期間推出了干法刻蝕模塊與氧化物釋放技術(shù)，該技術(shù)為MEMS器件設(shè)計師提供了更多的生產(chǎn)選擇，同時帶來了寬泛的制造工藝窗口，從而使良率得到了提升。

　　SVR-vHF氧化物釋放模塊結(jié)合現(xiàn)有的memsstar  SVR-Xe 犧牲性汽相釋放模塊，利用無水氫氟蒸汽(aHF)來去除犧牲氧化物，從而釋放MEMS機械結(jié)構(gòu)。SVR蝕刻方法可以完全地去除犧牲材料而不損害機械結(jié)構(gòu)或?qū)е吗じ剑�它同時提供了高度的可選擇性、可重復(fù)性和均勻性。麥斯艾姆科技，全國首家P C B(麥斯艾姆知識課堂)樣板打板，元器件代采購，及貼片的一站式服務(wù)提供者！SVR保留有干燥的表面，沒有任何殘留物或水汽，這也省去了包含在濕法工藝中的表面準(zhǔn)備、引入酸、中和以及隨后的干燥等步驟。麥斯艾姆（massembly）貼片知識課堂，用通俗的文字介紹專業(yè)貼片知識。

　　SVR與CMOS工藝和CMOS晶圓設(shè)施是兼容的，這使得MEMS器件可以像傳統(tǒng)的集成電路一樣在相同的設(shè)施和基板上進行生產(chǎn)，這也將適用于新類型的單片MEMS/CMOS 器件。SVR進一步的好處包括減少材料的使用和更低的浪費。

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