MEMS Analysis Tool 3D動態實時分析工具
| MEMS Analysis Tool MEMS Analysis Tool是一個后分析軟件。它提供了量化和精確的3D空間和頻率分析，時間序列的形貌圖(4D)，通過DHM®同時拍攝面內和離面運動，離面運動精度達到MEMS激光測振儀精度，面內運動精度則遠超MEMS測振儀精度，達到了1nm。
MEMS Analysis Tool是基于DHM數字全息顯微鏡一款軟件，數字全息顯微鏡DHM基于菲涅爾衍射的重建算法，僅需0.001秒采集單張全息圖即可得到實時3D形貌信息，無需掃描，在MEMS的設計與研究中有著獨特的優勢。此外，在形貌檢測、形變測量、實時大面積形貌監測等也有廣泛應用。 ![]() ![]() 下載 (104.52 KB)
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測量任何MEMS參數 模式的形狀 振動圖：振幅與相位 位移，速度和加速度 沿著任何方向 在視野里的任何地方 對于任何結構 頻率響應 電響應 [img=232,175][/img]仿真比較和測量 在任何時間任何地方，分析您的數據 導出數據以開放格式進行高級分析 定義您自己的分析模板，以比較有效的樣本批次 高效宣傳您的工作 測量您以前不能測量的樣本 用視頻演示出版物和會議演示 面內--離面運動分析在平面--離面分析中的高級算法 MEMS分析工具包含了強大的算法，可以分析MEMS的三維時間序列圖在面內和離面的位移。 研究微小振動 邊緣跟蹤，傅里葉和子像素算法 平面內低至納米 平面外低至皮米 對于大位移 模型跟蹤算法 在平面內大到毫米量級 離面達到數十微米 復雜運動和幾何圖形的表征 板傾斜 旋轉 移動部件有孔和結構 鏈接到出版物 ![]() ![]() 下載 (337.31 KB)
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頻域分析一個完整的頻率響應分析工具箱 頻率響應是MEMS中最重要的特性之一。MEMS分析工具提供了在時域和頻域之間切換的幾種方法。這種分析可以應用于平面位移和非平面位移，也可以應用于頻閃觀測模塊的電氣記錄。 波德分析 波德相位和振幅的關系圖
Q 因子
傅里葉分析 從時域到頻域的傅里葉變換 從頻域到時域的傅里葉濾波 諧波分析 基本的，第二，第三和第四諧波振幅 應用實例：MEMS麥克風和揚聲器 模態分析模式形狀，與模擬仿真有效的比較 MEMS分析工具可以對4D地形和模式形狀序列進行可視化分析。當振動的振幅比結構尺寸小得多，并且與模擬結果進行有效的比較時，這種第二表示非常有用。 4D陣列分析獨特的4 d分析工具 MEMS工具包括有效的工具，支持動態4D數據分析。輪廓切割，網格是其他獨特的工具，它將給你的設備帶來新的見解，革新他們的發展。數據可以作為文本文件或視頻圖像序列導出。 “array”工具，用于多設備分析 結構陣列的快速分析 個人設備之間的交叉對話 適用于大型設備的配合 快速分析：無需在測量前定義一個網格! “Dynamic profile cut”工具幾乎是無限的積分 膜破裂電壓的測定 多倍器件偏轉的定量比較 |
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