|
在特種氣體的各個應用領域中，特種氣體廣泛應用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏等行業(yè)，電子半導體領域?qū)μ胤N氣體的純度和質(zhì)量穩(wěn)定性要求最高。作為制造集成電路的關鍵材料，隨著下游工業(yè)技術的快速迭代，對特種氣體的純度和精度要求不斷提高。在工藝過程中，氣體純度要求通常高于6N（99.9999%）。 
半導體行業(yè)對氣源及其供應系統(tǒng)有著嚴格的要求。電子氣的深度凈化難度大，純度是衡量氣體質(zhì)量最重要的指標。芯片加工過程中，氣體純度的微小差異將導致整個產(chǎn)品性能降低甚至報廢。 在電子工業(yè)中，高純笑氣在薄膜晶體管（TFT-LED）和OLED顯示屏的制作工藝中起著至關重要的作用，需求迅速上升，其未來發(fā)展前景良好。高純度的一氧化二氮用于微電子和光電子器件的生產(chǎn)。在半導體和發(fā)光二極管芯片的制造中，笑氣反應生成的SiO2薄膜沉積在硅襯底上，作為緩沖層，防止有害雜質(zhì)的進入。N2O的純度直接影響SiO2薄膜的純度，影響電子器件的性能。 為了保證電子電路產(chǎn)品品質(zhì)可以使用笑氣傳感器來實時監(jiān)測笑氣純度，工采網(wǎng)代理了意大利Novasis 紅外笑氣傳感器/N2O傳感器模塊 - NG2-F-3，采用雙通道非分光紅外(NDIR)方式，可自動溫度補償，能需求集成到現(xiàn)有的測量系統(tǒng)或監(jiān)測儀器中。
在平板顯示領域，薄膜晶體管占據(jù)了主流顯示器的市場份額，但OLED(有機發(fā)光二極管)生產(chǎn)的顯示屏已被應用于高端產(chǎn)品，未來還將有更大的發(fā)展。笑氣在它們的制造中發(fā)揮了重要作用，現(xiàn)在顯示器形成的絕緣保護膜更多地是通過笑氣和氧化硅的反應來實現(xiàn)的。 |
