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作為一種真空獲得設(shè)備,分子真空泵(以下簡(jiǎn)稱分子泵)因其工作穩(wěn)定可靠,在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率,已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應(yīng)用領(lǐng)域的主流設(shè)備,在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。 圖表:分子泵在下游中的主要應(yīng)用[1] 在進(jìn)入21世紀(jì)之前,分子泵主要存在于科研與國(guó)防軍工領(lǐng)域。近十年間,隨著鍍膜、節(jié)能燈、顯示屏等新興產(chǎn)業(yè)的興起,分子泵逐漸在民用領(lǐng)域嶄露頭角并取得了快速發(fā)展2。尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的不斷推進(jìn)和新能源鋰電池、光伏設(shè)備需求增長(zhǎng),使得國(guó)內(nèi)分子泵行業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模一直處于上升趨勢(shì)。相關(guān)機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)到2026年,中國(guó)分子泵行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到31.0億元。 近幾年,分子泵向智能、靈活、高效的方向發(fā)展,在傳統(tǒng)分子泵基礎(chǔ)上,可實(shí)現(xiàn)無接觸支撐、高效率、高壽命的磁懸浮分子泵等產(chǎn)品獲得廣泛應(yīng)用。產(chǎn)品核心技術(shù)大力發(fā)展的同時(shí),與其配套的產(chǎn)品服務(wù)也向著更加專業(yè)、經(jīng)濟(jì)、高效的人性化方向邁進(jìn),這也是市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)發(fā)展的趨勢(shì)之一。 分子泵的工作原理 分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同。分子泵是基于動(dòng)量傳遞原理,在變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn),分子流區(qū)域內(nèi)氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。 分子泵應(yīng)用于高真空和超高真空度范圍(約10-1~10-8Pa),無法在大氣壓強(qiáng)下直接使用,其正常工作需要一定的啟動(dòng)壓強(qiáng)(分子泵啟動(dòng)壓強(qiáng)一般為0.1~100Pa),通常使用時(shí)需要連接低真空泵種作為前級(jí)預(yù)抽真空泵。分子泵機(jī)組是以分子泵為主泵,以旋片泵、渦旋泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的組合真空設(shè)備,運(yùn)行后能迅速使密閉空間獲得高真空。 分子泵按結(jié)構(gòu)和工作原理可分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵三種。 分子泵分類 立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)組成 分子泵維護(hù)保養(yǎng)的專業(yè)性 雖然分子泵已經(jīng)走進(jìn)工業(yè)領(lǐng)域的各個(gè)環(huán)節(jié),但在應(yīng)用端許多人對(duì)它卻并不熟悉。不同于傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵,分子泵是一種高精密機(jī)械設(shè)備。例如,分子泵抽氣單元部分,其中最小間隙小于0.5mm,最大也不超過3mm。而且分子泵的主軸精度都在微米量級(jí),微量的形變就會(huì)導(dǎo)致設(shè)備發(fā)生故障[2]。 普發(fā)渦輪分子泵中的復(fù)合軸承懸浮設(shè)計(jì)[3] 另外,分子泵對(duì)于開機(jī)檢查、存放的溫度與相對(duì)濕度及拆卸步驟都有明確要求。其復(fù)雜的理論與結(jié)構(gòu)決定了分子泵維護(hù)、維修與保養(yǎng)的難度。只有了解并掌握專業(yè)的知識(shí)理論和實(shí)操經(jīng)驗(yàn),才能使分子泵穩(wěn)定、持久地工作。 分子泵的維修流程 綜上,高質(zhì)量的分子泵,背后需要專業(yè)的維修保養(yǎng)團(tuán)隊(duì)給予技術(shù)支持,以獲得更長(zhǎng)的設(shè)備使用率和更低的設(shè)備故障率。在實(shí)際應(yīng)用中,此項(xiàng)工作一般是由分子泵設(shè)備制造商來完成的。所以,分子泵的售后服務(wù)對(duì)于客戶來說,是產(chǎn)品本身不可或缺的一部分。 普發(fā)真空中國(guó)服務(wù)理念 普發(fā)真空作為全球領(lǐng)先的真空設(shè)備和服務(wù)供應(yīng)商,在提升技術(shù)核心競(jìng)爭(zhēng)力,保證分子泵產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),也為客戶提供了一流的服務(wù)體系,確保分子泵高效且長(zhǎng)久運(yùn)行。為此,普發(fā)真空推出中國(guó)服務(wù)理念,致力于提供性能可靠的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)以滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。 針對(duì)真空設(shè)備的維護(hù)、保養(yǎng)及維修,普發(fā)真空中國(guó)服務(wù)理念有開機(jī)檢測(cè)、預(yù)防性保養(yǎng)服務(wù)及設(shè)備故障報(bào)修服務(wù)三大專業(yè)措施。 點(diǎn)擊視頻鏈接,了解普發(fā)真空中國(guó)服務(wù)理念: https://www.zhihu.com/zvideo/1678007906174496768 ·在設(shè)備使用前,普發(fā)真空提供免費(fèi)的開機(jī)檢測(cè)服務(wù)。專業(yè)的安裝、開機(jī)設(shè)定、健康檢測(cè)及日常維護(hù)保養(yǎng)培訓(xùn),確保分子泵及相關(guān)設(shè)備正常投入使用。 ·在設(shè)備使用中,普發(fā)真空提供預(yù)防性保養(yǎng)服務(wù)。專業(yè)人員到場(chǎng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng),現(xiàn)場(chǎng)更換工作液、密封件、易損件及現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢。如需返廠保養(yǎng),普發(fā)真空會(huì)對(duì)設(shè)備進(jìn)行全面的檢查和檢測(cè),徹底更換工作液、全面更換密封件和易損件,并提供延保6個(gè)月的支持。 ·如設(shè)備出現(xiàn)故障,普發(fā)真空提供設(shè)備故障報(bào)修服務(wù)。服務(wù)前普發(fā)真空將與客戶進(jìn)行溝通,預(yù)判故障原因和點(diǎn)位,讓現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)更高效。支持現(xiàn)場(chǎng)更換服務(wù),比如渦輪分子泵可現(xiàn)場(chǎng)更換軸承。如果需要返廠維修,普發(fā)真空擁有標(biāo)準(zhǔn)交換服務(wù),即可提供一臺(tái)同型號(hào)運(yùn)行良好的設(shè)備,以確保生產(chǎn)的有序進(jìn)行。 普發(fā)真空保證以上所有服務(wù)都采用原廠的配件和工具并出具檢測(cè)報(bào)告,服務(wù)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)通過全球認(rèn)證。標(biāo)準(zhǔn)交換服務(wù)提供的良品均經(jīng)過認(rèn)證,并提供等同質(zhì)保。 專業(yè)設(shè)備+完善服務(wù),不僅僅是客戶保障生產(chǎn)安全和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵,也是助力真空行業(yè)健康穩(wěn)定發(fā)展的重要舉措。從原廠備件到定制服務(wù),普發(fā)真空專業(yè)的銷售工程師和維修團(tuán)隊(duì)一直踐行反應(yīng)快速且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的端到端服務(wù),成為時(shí)刻陪伴客戶的真空技術(shù)專業(yè)管家。 作者:iVacuum真空聚焦 參考文獻(xiàn) [1] 圖表來源于前瞻產(chǎn)業(yè)研究院 [2]《分子真空泵的理論與實(shí)踐》 第九章-分子泵的維護(hù)保養(yǎng)和維修,作者:巴德純,王曉冬等 [3] 圖片來源于普發(fā)真空官網(wǎng) |
a)渦輪分子泵。(b)復(fù)合分子泵