|
內(nèi)容摘要：本文研究了具有宏/微雙重驅(qū)動定位工作臺的滑模變結(jié)構(gòu)控制技術(shù)，該工作臺采用直線電機(jī)進(jìn)行大行程位移驅(qū)動，來保證較大的工作行程和較快的響應(yīng)速度，采用壓電陶瓷微位移器完成精密位移驅(qū)動，利用光柵尺實現(xiàn)閉環(huán)位移反饋，可以實現(xiàn) 100mm 的工作行程，0.01μm 的重復(fù)定位精度。 下載： 
宏微驅(qū)動定位系統(tǒng)滑模變結(jié)構(gòu)控制的研究.pdf
(174.32 KB)
|
