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AEROTECH新推高精度Z軸納米定位器

發(fā)布時間:2016-3-24 16:31    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 定位器 , AEROTECH
此款新型 QNP-L 平臺的行程范圍為 100 μm 到 600 μm

Aerotech (www.aerotech.com) 現(xiàn)已推出一系列 Z 軸壓電納米定位平臺,可滿足極高精度要求 的科研和工業(yè)需求。此款新型 QNP-Z 平臺與現(xiàn)有的包括 QNP-L 直線平臺和 QNP-XY 平臺在內(nèi)的產(chǎn)品,為精度要求最高的應(yīng)用提供了全套解決方案。



它們具有很高的分辨率、線性、重復(fù)性和高動態(tài)性能,能夠滿足顯微鏡到光學(xué)對準(zhǔn)等最嚴(yán)苛的應(yīng)用需求。該平臺具有 0.15 nm 的分辨率,0.007% 的線性和 1 nm 的雙向重復(fù)性, 從而保證了納米級精度。

各種行程范圍(100 μm 到 600 μm)、反饋選項和真空版本增加了此 平臺系列的多樣性。它們由精密柔性鉸鏈導(dǎo)向,用有限元分析法進(jìn)行優(yōu)化。這種設(shè)計具有出色的剛度和高諧振頻率(高達(dá) 1050 Hz),能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)能和快速閉環(huán)響應(yīng)。

所有 QNP 平臺都具有優(yōu)異的幾何性能(直線度和角度誤差), 同時將整體包裝尺寸降低到最小。還備有轉(zhuǎn)接板,使直線單軸平臺、XY 和 Z 軸平臺能夠安裝在一起進(jìn)行同步多軸定位。

Aerotech公司是一家為工業(yè)、政府、科研機(jī)構(gòu)提供精密定位和運(yùn)動控制產(chǎn)品的全球化頂級供應(yīng)商,其產(chǎn)品專門針對高精度、高產(chǎn)能運(yùn)動控制解決方案的應(yīng)用需求提供關(guān)鍵性能指標(biāo)。

應(yīng)用包括:
•    測試和檢測
•    政府與高校實驗室
•    軍事
•    納米技術(shù)
•    顯微鏡
•    半導(dǎo)體
•    微電子
•    光學(xué)
•    光電
•    數(shù)據(jù)存儲
•    精密機(jī)械
•    金屬
•    生命科學(xué)
•    醫(yī)療器械

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