此款新型 QNP-L 平臺的行程范圍為 100 μm 到 600 μm Aerotech (www.aerotech.com) 現(xiàn)已推出一系列 Z 軸壓電納米定位平臺,可滿足極高精度要求 的科研和工業(yè)需求。此款新型 QNP-Z 平臺與現(xiàn)有的包括 QNP-L 直線平臺和 QNP-XY 平臺在內(nèi)的產(chǎn)品,為精度要求最高的應(yīng)用提供了全套解決方案。 ![]() 它們具有很高的分辨率、線性、重復(fù)性和高動態(tài)性能,能夠滿足顯微鏡到光學(xué)對準(zhǔn)等最嚴(yán)苛的應(yīng)用需求。該平臺具有 0.15 nm 的分辨率,0.007% 的線性和 1 nm 的雙向重復(fù)性, 從而保證了納米級精度。 各種行程范圍(100 μm 到 600 μm)、反饋選項和真空版本增加了此 平臺系列的多樣性。它們由精密柔性鉸鏈導(dǎo)向,用有限元分析法進(jìn)行優(yōu)化。這種設(shè)計具有出色的剛度和高諧振頻率(高達(dá) 1050 Hz),能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)能和快速閉環(huán)響應(yīng)。 所有 QNP 平臺都具有優(yōu)異的幾何性能(直線度和角度誤差), 同時將整體包裝尺寸降低到最小。還備有轉(zhuǎn)接板,使直線單軸平臺、XY 和 Z 軸平臺能夠安裝在一起進(jìn)行同步多軸定位。 Aerotech公司是一家為工業(yè)、政府、科研機(jī)構(gòu)提供精密定位和運(yùn)動控制產(chǎn)品的全球化頂級供應(yīng)商,其產(chǎn)品專門針對高精度、高產(chǎn)能運(yùn)動控制解決方案的應(yīng)用需求提供關(guān)鍵性能指標(biāo)。 應(yīng)用包括: • 測試和檢測 • 政府與高校實驗室 • 軍事 • 納米技術(shù) • 顯微鏡 • 半導(dǎo)體 • 微電子 • 光學(xué) • 光電 • 數(shù)據(jù)存儲 • 精密機(jī)械 • 金屬 • 生命科學(xué) • 醫(yī)療器械 |