針對移動應用的天線設計正變得越來越復雜，需要靈活的MEMS技術來滿足集成新特性和新應用的要求。 電視接收等新應用和新特性被不斷地集成到無線器件中。此外，無線技術，包括局域網（Wi-Fi） ...

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統 摘要：傳感器技術是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結合形成的智能系統大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據電容的物理特性制 ...

最近幾年利用微機電系統（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技術，在硅晶圓基板表面制作機電結構的技術備受關注，主要原因移動電話與WLAN（Wireless Local Wireless Network）等無線通信 ...

許多MEMS器件，像加速度計、機械共振器件等，都需要在真空環境下才能實現設計功能。然而檢驗封裝腔體是否達到了所要求的真空程度一直一來都是個棘手的問題。密歇根大學Khalil Najafi教授研究小 ...

跌倒探測儀適用于自理能力和自我保護能力比較差的老年人和兒童，它通過測量佩戴該儀器的個體在運動過程中的三個正交方向上的加速度來感知其身體姿態的變化，并可按照需要進行報警和發布。 跌 ...

提出了一種新型的三明治結構MEMS微波功率傳感器結構，與傳統傳感器相比，新結構由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下，模擬了熱電堆的溫度分布，三明治結構熱電堆 ...

給出一種用于義齒壓力測量的微型電容式傳感器的研制工藝和封裝測試。文中根據電容式壓力傳感器的原理，采用MEMS工藝，研制出微型傳感器。在與義齒基托相同材料的作底基的樹脂上挖一個邊長為2 rn ...

流量傳感器是眾多醫療設備的關鍵器件，它被用來監視氣體輸出量以確保流量精確。目前可用的流量傳感技術主要包括壓差傳感、正排量傳感及葉輪傳感。與那些不包含集成的信號放大與溫度補償電路的測 ...

iPhone和任天堂Wii游戲機的流行，加速度傳感器在消費類電子設備中得到了廣泛的應用。例如，筆記本中的跌落保護、MP4/手機中的屏幕自動翻轉、輕敲手機掛斷電話以及手機“翻轉靜音”等等。這些應 ...

1 引 言 近幾年，基于電化學原理的安培酶免疫檢測發展迅速，在食品工業、環境監測與處理、生物技術及臨床診斷等領域都有著廣泛的應用。 利用抗原抗體之間的特異性親和作用以及酶的催 ...

意法半導體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產品性能，讓意法半導體迅速擴大了在消費電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術特性上實現了兩全其美：更小尺寸、更低價格 ...

盡管2009年全球經歷了空前的經濟危機，但是MEMS市場并沒有受到影響，市場總值幾乎與2008持平，出貨量比2008年同期增長大約10%，這些數據表明，MEMS在消費電子市場的滲透率正在不斷提高。據市調 ...