為了說明什么是微機電系統MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)，首先來解釋一下什么是機電系統。20多年以前，汽車還是一個單純的機械系統，后來隨著電子技術的發展，汽車的很多零部件(例如 ...

在高速DWDM系統中，傳輸信道的色散會因溫差而產生變化，使得傳統色散補償光纖難于應付。本文介紹了一種基于MEMS的可調色散補償儀并詳細講述其工作原理，利用它可以實現真正的多信道色散補償。 ...

MEMS第一輪商業化浪潮始于20世紀70年代末80年代初，當時用大型蝕刻硅片結構和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的壓敏電阻走線，這種變化可以把壓力轉換成 ...

電信業的需求促使了其發展方向以光層架構成本的大幅度下降為目標，而該目標的核心就是要減少不必要的光電轉換。高度可重構的無阻塞全光交叉連接器（OXC）注定要成為降低成本的一個關鍵部件，并 ...

以微機電系統(MEMS)集成電路(IC)形式實現的運動傳感器正在蜂窩手持設備的未來發揮關鍵作用，這些MEMS加速計使移動電話更便于使用，而且還能夠提高手持設備的可靠性。由于采用MEMS可以提高靈敏度 ...

汽車輪胎壓力實時監視系統(TPMS)已經成為中國汽車電子產業的研發熱點，在今后的五年里全球預計會有7億1百萬只輪胎需要安裝胎壓監測傳感器。美國法律要求從2007年8月起在美國銷售的所有乘用車和 ...

1 引言 氣相色譜法(GC)是英國生物化學家MartinATP等人在研究液液分配色譜的基礎上，于1952年創立的一種極有效的分離方法，它可分析和分離復雜的多組分氣體混合物。目前的氣相色譜系統主要包 ...

對MEMS振蕩器的已超過四十個年頭，然而最近才走向商用化，其中最大的一個障礙是開發一種經濟并足夠純凈的密閉封裝系統。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環境，因為即使極小的表面污染物也會明顯 ...

EL6249C是美國Elantec半導體公司推出的四通道激光二極管電流放大器｡文中根據頻閃成像原理,利用EL6249C設計了一套頻閃驅動電路,該驅動電路可驅動高亮LEC,以產生MEMS動態測試中所需的頻閃 ...

Leon Foucault在1852年發明了世界首個陀螺儀，這種傳統的機械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認為，利用固定位置上的旋轉物體可以測量地球的旋轉。在理論上他的想法是正確的，但當時他只能讓物體保 ...

一、引言 微機械慣性器件是微機電系統重要的研究內容,微慣性器件包括微陀螺和微加速度傳感器。采用微機電技術制造的微加速度傳感器在壽命、可靠性、成本、體積和重量等方面都要大大優于常規 ...

mems （微機電系統）傳感器;有三項MEMS技術產品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器; 1)MEMS傳感器的大批量高精度生產和高可靠性及單價廉價，特 ...