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新型 PlanarDLA 線性直驅(qū)平臺(tái)具有高速度和定位精確性 Aerotech (www.aerotech.com) 現(xiàn)已推出一系列集成開(kāi)放式架構(gòu)平臺(tái) ，具有精確的幾何性能和微米級(jí)直線度。此款新型 Planar DLA 平臺(tái)包括高精度滾柱軸承、精確加工表面和通過(guò)剛性軸心驅(qū)動(dòng)的無(wú)接觸直線電機(jī)，這些特點(diǎn)可以實(shí)現(xiàn) ±0.5µm 的直線度和 ±1.25µm 的平直度。 
應(yīng)用包括： 半導(dǎo)體制造 電子設(shè)備制造 (LEDs) 測(cè)試與檢驗(yàn) 激光加工 金屬檢驗(yàn) 微機(jī)械加工 納米技術(shù) 醫(yī)療 實(shí)驗(yàn)室 光學(xué)計(jì)量 晶片加工 計(jì)量 自動(dòng)化 此款輕薄型平臺(tái)的設(shè)計(jì)應(yīng)用范圍寬很廣，可用于從高動(dòng)態(tài)雙面 LED 晶元加工到準(zhǔn)靜態(tài)光學(xué)計(jì)量等各種場(chǎng)合。該系列產(chǎn)品共有九種型號(hào)，以滿足客戶在行程和精確度方面的各種要求。 PlanarDLA 能夠以 2 m/s 的速度和 2 g 加速度進(jìn)行高產(chǎn)能、高精度加工，具有優(yōu)異的加工產(chǎn)能和低廉的集成成本。它能夠達(dá)到很高的伺服帶寬，同時(shí)保持最大的有效通光孔徑，并保持最小的整體高度。 Aerotech 的專屬直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)提供高速度和精確定位功能，而且具有免維護(hù)和使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這些平臺(tái)每軸配備有一個(gè)或兩個(gè)電機(jī)，使每個(gè)軸針對(duì)具體的應(yīng)用和過(guò)程達(dá)到最優(yōu)化。 |
