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MEMS模塊簡(jiǎn)易教程 MEMS Module Minicourse

發(fā)布時(shí)間:2011-1-11 22:21    發(fā)布者:看門狗
關(guān)鍵詞: MEMS
60頁(yè)英文PDF文檔

C O N T E N T S
Preface 2
Solving Electro-Thermo-Mechanical Problems 3
Microresistor Beam 4
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Model Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Results and Discussion. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Modeling in COMSOL Multiphysics . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Modeling Using the Graphical User Interface . . . . . . . . . . . . 7
Solving Piezoelectric Problems 22
A Piezoelectric Shear Actuated Beam 23
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Model Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Results. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Modeling in COMSOL Multiphysics . . . . . . . . . . . . . . . . 26
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Modeling Using the Graphical User Interface . . . . . . . . . . . . 27
Eigenfrequency Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Frequency-Response Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Appendix: Geometry Modeling . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Low-Voltage Electroosmotic Micropump 38
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Model Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Results and Discussion. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Modeling in COMSOL Multiphysics . . . . . . . . . . . . . . . . 45
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Modeling Using the Graphical User Interface . . . . . . . . . . . . 46
Appendix—Geometry Modeling . . . . . . . . . . . . . . . . . 54

MEMS模塊簡(jiǎn)易教程.pdf (2.84 MB)

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zhaokuiman 發(fā)表于 2011-4-8 14:01:03
xuexi
fymbl 發(fā)表于 2011-4-26 09:47:10
mark
sym0602 發(fā)表于 2011-8-29 15:50:29
謝啦
wednesday314 發(fā)表于 2013-6-14 18:34:24
thanks
zhuozc 發(fā)表于 2012-1-30 20:21:29
hwlc52 發(fā)表于 2014-6-6 17:06:53
謝謝分享
liyong7818 發(fā)表于 2015-1-13 08:41:49
謝謝分享
yuhuikeji 發(fā)表于 2015-12-24 20:19:56
謝謝分享。。。。。。。。!
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