新方法——對MEMS器件面內和離面運動同步實時跟蹤，樣片展示

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新方法拍了一些樣片給大家看
MEMS動態表征應用案例：1、MEMS麥克風 2、慣性傳感器 3、MEMS微執行器 4、MEMS微鏡 5、微熱板 6、MEMS懸臂梁配合MEMS頻閃模塊測量 7、超聲傳感器 8、24.7MHz表面聲波

MEMS麥克風                                                                            慣性傳感器

MEMS微執行器


全息法對于
離面運動的測量達到了MEMS激光測振儀的精度，面內運動的測量精度達到了1納米，則遠遠超過目前市場上MEMS分析儀的測量精度。
大家怎么看？

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表征MEMS器件的實時動態響應，可以訪問www.raysci.com了解DHM的應用。

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數字全息技術對比傳統AFM、激光掃描共聚焦顯微鏡最大的特點是無需掃描實時成像的方式，只需0.001秒抓拍單張圖像即可得到樣品實時三維形貌。

資料來自lyncee tec數字全息顯微鏡。采用數字全息技術，采用CCD記錄物光與參考光干涉形成的全息圖，計算機根據全息圖中包含的相位信息實時數值重建得到物體三維形貌信息。由于采用高精度激光，縱向提供了激光干涉級別的亞納米精度。

孽庸冢

謝謝樓主分享

傲琪電子

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