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MEMS是一種制造技術，諸如杠桿、齒輪、活塞、發動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術顯得有些神秘。什么是MEMS？ 
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）稱為微機電系統，或微電子和微機電系統，是為利用機械手段實現特定功能而建造的小型化結構和設備。MEMS最早是在1960年代提出的，但是直到1980年代才商業化。其實在現實生活中MEMS技術實際離普通人很近，它包括MEMS麥克風，微馬達，mems光學傳感器，MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀等產品，在手機、智能穿戴等產品中有著廣泛應用。 而像手機的麥克風，攝像頭，加速度計等產品，都使用了體積非常小、功能非常全的MEMS產品，它可以融微集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路為一體。雖然許多MEMS采用類似于集成電路的批量加工技術進行制造和封裝，但關鍵的區別在于它們有與周圍環境互動的移動或動態部件。當需要精度、低功耗操作和緊湊的外形尺寸時，會使用不同的MEMS設計。 MEMS系統被設計為具有感知、響應和影響環境的能力。作為一個完整系統的一部分，它們意義非凡。MEMS被部署在許多應用中，包括傳感、檢測、轉換、執行和其他需要小尺寸性能和精度的物理技術。它們可以在許多市場的技術中找到，包括工業、醫療、電信、航空航天和國防。它們的物理尺寸可以從幾微米到幾毫米不等。 MEMS應用可以采用不同的基本技術，包括壓阻、壓電、微流體、光調制、熱膨脹或其他方法來響應系統的輸入。由于MEMS設計涉及電子學、力學和光學，這些技術的工程和制造是高度跨學科的，并應用不同的專業知識。使用MEMS技術設計一個器件，除了需要電子制造和裝配工藝外，還需要電子和機械工程、材料科學、化學、流體學、光學和射頻設計方面的工作知識。現在，MEMS已經被大規模應用，這些設備需要可靠的批量生產。 可見MEMS技術的持續創新為許多市場帶來了顛覆性的技術，從支持自主車輛和感知機器人的激光雷達系統，到下一代電信天線中的可轉向波束成形相控陣，以及用于通信、導航、金融和云計算的芯片級原子鐘。 未來隨著5G技術的普及和物聯網的廣泛應用，MEMS器件的應用場景越來越多，需求越來越旺盛。 |
