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來源：北方華創 2022年8月12日，以“Reliable可靠·Innovative創新·Excellent卓越”為主題，北方華創NMC508RIE介質刻蝕機新產品發布會在北京亦莊總部順利舉行。這是北方華創首次以8吋設備整體解決方案的視角，全方位、多維度地展現NAURA在CCP介質刻蝕領域實現的創新突破。 新品發布會首先由北方華創副總裁李東三做了開場致辭，“NMC508RIE產品的誕生，既表明了北方華創現已實現8吋刻蝕工藝的全覆蓋，也彰顯了擁有二十多年技術積累的北方華創持續創新的精神力量”。在發布會的現場，第一刻蝕事業單元副總經理陳慶以《8&6吋兼容介質刻蝕的新機遇與挑戰》為主題做了分享報告。他表示：“目前，國內的8吋、6吋生產線正在經歷一個‘老瓶裝新酒’的發展時機，汽車電子、物聯網等高速增長的芯片需求正在驅動市場進行漸進式的器件與工藝的更新。”NMC508RIE正是采用了最新的裝備技術應用到8吋設備上，專為新工藝需求定制，開發出同時兼容到6吋的全新多頻解耦CCP介質刻蝕設備，不僅具備刻蝕速率高、均一性好、工藝窗口大等特點，能更好地滿足新型器件高深寬比結構的發展趨勢，且系統穩定性高、維護成本低。 創新求變是北方華創的持久驅動力。發布會的最后，北方華創集團董事長趙晉榮做了總結講話，“應時而生，北方華創推出全新CCP介質刻蝕機，致力于通過開放的生態合作、持續的創新投入、豐富的工藝解決方案經驗，幫助客戶加速實現量產升級”。未來，為應對當下前所未有的挑戰，北方華創將堅定創新理念不動搖，始終堅持以客戶為中心，精研市場需求，推出更多新產品與工藝解決方案，致力于持續推動產業進步，創造無限可能。 |
