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摘要：為了擴展掃描電鏡的用途，實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)物性在線檢測，本文基于4-PUU并聯(lián)機構(gòu)設(shè)計了一種掃描電鏡定位平臺。其結(jié)構(gòu)簡單，便于集成微操作裝置。為優(yōu)化平臺機構(gòu)的性能，本文建立了4-PUU機構(gòu)的空間尺寸模型，繪制了機構(gòu)性能圖譜，分析了機構(gòu)參數(shù)對機構(gòu)可達工作空間、靈巧性、速度性能的影響，得到了具有良好性能的平臺機構(gòu)參數(shù)。 下載全文 
并聯(lián)式四自由度定位平臺性能優(yōu)化.pdf
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