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罕王集團是中國東北沈陽的大型民營鐵礦生產集團，該公司已開始為生產微機電系統(MEMS)興建一家大型晶圓廠。 罕王集團打算生產慣性傳感器和硅膜麥克風，這兩種產品在中國都有旺盛的需求。該公司也在討論生產胎壓傳感器和用于醫療應用的微流體MEMS。中國目前生產的大量電子設備所使用的MEMS器件，幾乎全部需要進口。由于沒有關稅和勞動力成本較低，罕王MEMS器件的成本將低于進口產品，因此應該能夠在中國系統生產商中找到買家。 為了實現上述目標，罕王集團成立了合資子公司Hanking Electronics Co. Ltd.，并聘請MEMS產業資深人士Doug Sparks擔任執行副總裁幫助實施相關計劃。Sparks向總裁兼首席執行官Lucy Huang報告。 晶圓廠2012年3月動工興建，位于沈陽以東40英里左右的撫順。Sparks表示，工廠將坐落在罕王MEMS工業園(HMIP)之中，道路已經在2011年平整完畢。工業園位于撫順經濟開發區，占地約160英畝。 罕王計劃投資30億元人民幣(約4.75億美元)，分三個階段進行開發。Sparks表示，盡管初期準備安裝200毫米晶圓生產設備，但廠房是為滿足“300毫米晶圓生產”建造的。他預測，將在幾年內向生產300毫米MEMS晶圓過渡，目前MEMS領域還沒有一家廠商能夠生產300毫米晶圓。 Sparks表示，MEMS晶圓廠在第一階段，將能夠在2014年每月生產大約4000個200毫米初制晶圓。他說，“我們將在2013年以前擁有后端處理制程，比如電鍍與蝕刻，再過一年可能就會擁有所有制程。” 但Sparks并不十分擔心進度拖延。他說，罕王進入MEMS領域是一項長期計劃，而且資金充足。中國罕王控股有限公司是罕王集團的附屬企業之一，2011年9月在香港上市，2011年凈利潤為6.706億元人民幣，營業收入為14.5億元人民幣(約合2.3億美元)。Sparks表示，整個集團的年營業收入約為5.5億美元。 Sparks表示，罕王希望最終成為MEMS IDM廠商，生產自有品牌的元件，不過屆時可能有70%的自有品牌業務和30%的代工業務。但是，在實現那一步之前，罕王最初可能需要向主要MEMS廠商提供代工服務。 Sparks表示，他一直在考慮與MEMS IDM廠商和代工廠商合作。如果能夠成為一家MEMS廠商的中國代工者，罕王就可以安裝“一模一樣”的設備，在為其生產產品的同時，也可以學到MEMS技術。Sparks表示，“我們一直在與幾家潛在的戰略伙伴談判，”但他拒絕透露具體的公司名稱。 Sparks表示，他也在與MEMS代工廠商Memscap SA (法國Bernin)接觸，準備把MUMPS系統引入中國。MUMPS是標準化制程模組系統，可以讓不同的客戶共享晶圓面積，類似于CMOS中的多項目晶圓(MPW)方式。 MUMPS代表Multi-User MEMS Processes(多用戶MEMS工藝)，最初是1980年代在美國加州大學伯克利分校開發的一個項目，后來轉到了美國北卡羅菜納微電子中心(MCNC)，并成為向研究人員提供MEMS流片服務的一個手段。該服務后來轉讓給了Cronos Integrated Microsystems Inc.，包括在北卡羅來納州三角研究園的一個晶圓廠。后來于2003年被Memscap收購。Memscap利用該設施向客戶提供MEMS流片服務，然后投入批量生產。 Sparks表示，如果能夠使用這樣的低成本系統，中國許多小型公司可能對MEMS感興趣。罕王在美國克利夫蘭也設有辦事處。他說，“我們已開始在那里進行一些設計工作，以啟動這個項目。” Sparks還補充道，Hanking Electronics也考慮在無線傳感器網絡領域，在中國給一些電子產品貼上自己的標簽，以此擴大其銷售與市場基礎。 罕王并不是在中國建立MEMS工廠的第一家公司。1999年從模擬器件公司分拆出來的美國Memsic Inc.，在無錫建立了一家后端工廠，使用加工過的臺積電CMOS晶圓。 2011年10月接受Hanking Electronics的現有職務之前，Sparks曾在美國MEMS公司Integrated Sensing Systems Inc.工作過10年，再早在Delco從事汽車MEMS工作17年。Delco已更名為Delphi。 Sparks在Delphi期間，聘用了一名來自美國凱斯西儲大學(Case Western Reserve University)的中國碩士畢業生Lucy Huang，即Hanking Electronics的現任總裁兼首席執行官。 |
