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在此例中，將2000個測試向量發(fā)送至必須用恒定2V加電的CMOS IC。此例將使用一個閾值電平，而且1μA及以下的靜態(tài)電流將被認為是合格電流。無需保存實際的測量值，所以將只檢查260X的箝位狀態(tài)。為確保生產吞吐量符合要求，必須盡快完成測量，最好在1秒以內。測量儀器必須發(fā)送一個通過/失效指示至數(shù)字測試系統(tǒng)。 方案：開發(fā)TSP腳本用于創(chuàng)建“IddqTest(smu, ndevices, nvectors)函數(shù)”。此腳本的一部分被列在下面。完整的腳本可以在吉時利網站（www.keithley.com）下載。此腳本可以用測試腳本生成器查看、編輯、裝載和運行。由于無法獲得實際的“數(shù)字測試系統(tǒng)”，因而使用IDDQ測量與測試向量應用同步的觸發(fā)線路進行環(huán)繞測試以評估函數(shù)的速度性能。260X的輸入觸發(fā)線路連至其輸出觸發(fā)線路。在此條件下，260X能以每秒約2500個向量的速率執(zhí)行IDDQ測試。 函數(shù)定義如下。除了這里示出的以外，實際腳本包括更多注釋。注釋用雙橫線（--）標識。函數(shù)中聲明了幾個局部變量。所有變量都是全局的，除非顯式聲明為局部變量。此函數(shù)在執(zhí)行實際測試前要進行一些儀器初始化設置。此設置包括設定2V源電平和1μA箝位極限，選擇電壓感測模式以及配置觸發(fā)線路。例子中使用了本地（2線）電壓感測。可以直接將其改為遠端（4線）感測。 function IddqTest(smu, ndevices, nvectors) -- 傳遞參數(shù)： -- 源測量單元是用于測試的SMU（A或B） -- ndevices是待測IC的數(shù)量 -- nvectors是Iddq測試序列用到的向量數(shù)量 -- 默認smua，如果未指定SMU。 if smu == nil then smu = smua end -- ***** 聲明并初始化臨時變量***** -- 保存“等待觸發(fā)信號”布爾狀態(tài)的變量 local l_sot_received local l_trig_received -- 放棄測試標記（布爾型） local l_abort_test -- 保存定時信息的變量 local l_start_time, l_stop_time, l_elapsed_time -- 計數(shù)器變量 local l_i, l_nvectors_remaining -- 用于模擬器件機械手分級的表格 local l_bins = {0,0} -- 全部分級初始設置為0 -- *************** 執(zhí)行260X的初始化設置*************** smu.reset() -- 將SMU重置為缺省設置 smu.source.func = smu.OUTPUT_DCVOLTS -- 源DCV smu.source.rangev = 2 -- 將自動選擇6V量程 smu.source.levelv = 2 -- 源2V smu.source.limiti = 1E-6 -- 電流箝位設為1uA smu.sense = smu.SENSE_LOCAL -- 用smu.SENSE_REMOTE進行4線感測 -- 配置數(shù)字I/O端口 digio.writeprotect = 0 -- 全部比特撤銷保護 digio.writeport(30) -- 將2、3、4和5比特/行設置為高 digio.writeprotect = 30 -- 觸發(fā)線路2、3、4和5寫保護 -- 配置觸發(fā)線路2（輸入SOT） digio.trigger[2].mode = digio.TRIG_FALLING -- 檢測下降沿 digio.trigger[2].clear() -- 清除“鎖存”觸發(fā)信號 -- 配置觸發(fā)線路3（輸出EOT） digio.trigger[3].mode = digio.TRIG_FALLING -- 輸出TTL低電平脈沖 digio.trigger[3].pulsewidth = 10E-6 -- 確保最小脈沖 -- 配置觸發(fā)線路4（在設置了測試向量時輸入TRIG） digio.trigger[4].mode = digio.TRIG_FALLING -- 檢測下降沿 digio.trigger[4].clear() -- 清除“鎖存”觸發(fā)信號 -- 配置觸發(fā)線路5（在完成IDDQ測量后輸出TRIG） digio.trigger[5].mode = digio.TRIG_FALLING -- 輸出TTL低電平脈沖 digio.trigger[5].pulsewidth = 10E-6 -- 確保最小脈沖 -- 清除錯誤隊列 errorqueue.clear() -- ************************* 執(zhí)行測試************************* -- 在前面板顯示一些狀態(tài)信息 display.clear() display.setcursor (1,1) display.settext(" Test In Progress") display.setcursor (2,1) display.settext(" Testing "..tostring(ndevices).." Parts") timer.reset() l_start_time = timer.measure.t() for l_i = 1, ndevices do -- 等待SOT指示器件準備好進行測試；10ms后超時 l_sot_received = digio.trigger[2].wait(0.01) -- 打開SMU輸出；等到測試完成 smu.source.output = smu.OUTPUT_ON -- 初始化中斷標記和向量計數(shù)器 l_abort_test = false l_nvectors_remaining = nvectors digio.trigger[4].clear() -- 清除全部“鎖存”觸發(fā)信號 -- 重復測試直至不再有測試向量或測試失敗 while (l_nvectors_remaining >0) and not (l_abort_test) do -- 等待來自數(shù)字測試系統(tǒng)的觸發(fā)信號；10ms后超時 l_trig_received = digio.trigger[4].wait(10E-3) -- 如需建立時間，delay(0.0005)在這里插入延時 -- 檢查箝位狀態(tài)；返回布爾值真或假 l_incompliance = smu.source.compliance -- 如果源在箝位狀態(tài)，那么器件損壞并且中斷測試 if l_incompliance then digio.writeport(32) --寫失效模式至DIO l_bins[2] = l_bins[2]+1 -- “分級”器件 l_abort_test = true -- 將中斷測試標記置為真并退出循環(huán) else -- 否則，器件仍然是好的，所以繼續(xù)測試 digio.trigger[5].assert() -- 輸出觸發(fā)信號至“數(shù)字測試系統(tǒng)” l_nvectors_remaining = l_nvectors_remaining – 1 -- 新計數(shù) end --if語句 -- 如果測試不中斷，那么器件是好的 if not (l_abort_test) then digio.writeport(64) -- 寫通過模式至DIO l_bins[1] = l_bins[1]+1 -- “分級”器件 end --if語句 --關閉SMU輸出 smu.source.output = smu.OUTPUT_OFF -- 輸出EOT觸發(fā)信號 digio.trigger[3].assert() -- 清除分級碼（將全部撤銷保護的比特置為零） delay(0.0001) -- 清除分級碼之前延遲的單位為秒 digio.writeport(0) end --for語句 l_stop_time = timer.measure.t() l_elapsed_time = l_stop_time - l_start_time -- 在260X前面板顯示吞吐率和最終分級結果 display.clear() display.setcursor (1,1) display.settext("Parts per sec = "..tostring(ndevices / l_elapsed_time)) display.setcursor(2,1) display.settext("Bin Count: Good= "..l_bins[1].." Bad= "..l_bins[2]) -- 將速度與分級結果寫至輸出隊列以供PC主機讀取 print("Elapsed time = "..l_elapsed_time.." sec") print("Parts per sec = "..tostring(ndevices / l_elapsed_time)) print("Bin Count: Good Parts: "..l_bins[1].." Bad Parts: "..l_bins[2]) end --IddqTest函數(shù) 用測試腳本生成器或者其它應用執(zhí)行示例的IDDQ測試腳本僅創(chuàng)建了函數(shù)，不執(zhí)行任何測試。執(zhí)行IDDQ測試需要調用IddqTest()函數(shù)。例如，為了用2000個測試向量測試100個器件，系統(tǒng)控制器必須發(fā)送指令“IddqTest(smua, 100, 2000)”。 作為對函數(shù)調用的響應，260X等待外部數(shù)字測試系統(tǒng)對每個DUT的開始測試（SOT）觸發(fā)信號。260X收到SOT信號后，打開SMU輸出并等待數(shù)字測試系統(tǒng)的觸發(fā)信號。數(shù)字測試系統(tǒng)向IC輸入端施加測試向量，然后發(fā)送一個觸發(fā)信號至260X。260X接到觸發(fā)信號后，等待一個預定的建立時間，然后檢查其箝位狀態(tài)。如果不在箝位狀態(tài)，那么這項IDDQ測試通過，而且260X輸出一個觸發(fā)信號至數(shù)字測試系統(tǒng)并進入循環(huán)等著下一個施加的測試向量。此過程持續(xù)進行直至完成全部測試向量或者260X進入箝位狀態(tài)。如果成功通過全部測試向量，260X 就向其DIO端口寫入十進制數(shù)64表明通過了數(shù)字測試系統(tǒng)。表元素“l(fā)_bins[1]”加1用于模擬器件的分級。然后，260X輸出測試結束（EOT）觸發(fā)信號至數(shù)字測試系統(tǒng)，表明已完成DUT的IDDQ測試序列。 如果260X進入箝位狀態(tài)，那么IDDQ測試失敗。在單項測試失敗時，260X采用“立即”分級方案，這意味著260X會立即向數(shù)字測試系統(tǒng)寫一個失效位模式（十進制數(shù)32），中斷 剩余的測試序列，然后輸出EOT觸發(fā)信號至數(shù)字測試系統(tǒng)。在輸出了失效模式后，表元素“l(fā)_bins[2]”加1用于模擬分級過程。在260X通過寫十進制數(shù)0至DIO端口來發(fā)送EOT觸發(fā)信號后，260X等待一個預定的時間間隔就會清除通過/失效位模式。如果有更多的DUT要測試，260X進入循環(huán)并等待下一個SOT觸發(fā)信號。當完成全部測試后，在260X前面板會顯示吞吐率和分級結果；吞吐率和分級結果也會打印至輸出隊列以供系統(tǒng)控制器讀取。 |
