MEMS傳感器是當前芯片制造領域火熱的話題之一，智能手機、新能源汽車以及各類智能穿戴，會消耗大量MEMS傳感器。對于很多MEMS傳感器生產商來說，提升MEMS傳感器的質量是拓展市的關鍵。近年來，MEMS傳感器的小型化趨勢愈發明顯，而檢測試需求正在持續提升。

MEMS傳感器的分類復雜，全球每年消耗的MEMS傳感器數以億計，這些MEMS傳感器的被廣泛應用于智能手機、汽車電子、智能制造等領域。由于不同MEMS器件的功能和性能都存在差異，以往的測試方案都是采用定制化的儀器。造價高昂的測試方案導致MEMS傳感器廠商的測試成本提升，最終由消費者買單。

在萬物互聯時代，MEMS測試技術隨著市場需求日漸成熟，以SPEA為代表的MEMS半導體自動化測試設備服務商正在努力實現快速，高精度、低成本的檢測。作為國際領先的高性能MEMS傳感器測試設備供應商之一，SPEA推出過多款MEMS測試設備，它們滿足廠商對測量精度和長期穩定性的苛刻要求。

SPEA的MEMS測試設備結合了快速和溫和的取放處理、可靠的接觸和完整的最終測試能力，包括電氣測試、功能測試和校準的物理激勵以及三溫熱調節。從設備編程到生產控制，SPEA自主開發應用軟件可以精準管理每一項細節。

SPEA的MEMS測試儀能夠完美地復制各種設備的真實工作條件，在激勵應用期間與測試資源的持續連接使設備能夠準確地驗證設備是否正常工作。測試資源可以嵌入到激勵單元中，或安裝在一個緊湊的、只有測試頭的測試儀中。

此外，多個刺激可以組合在一個測試單元中，以是西安組合型MEMS單元測試，如環境傳感器（壓力+濕度+氣體+溫度）或導航傳感器（加速度計+陀螺儀+指南針）。

得益于在MEMS測試技術領域的長期積累，SPEA已在MEMS測試設備的設計、制造、測試方案、售后服務等方面占據了先機，并建立了完整的業務流程和供應鏈體系，其MEMS測試設備已廣泛應用于MEMS聲學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS加速度傳感器、MEMS陀螺儀傳感器、MEMS組合慣性傳感器、MEMS磁傳感器、MEMS微流控系統、射頻MEMS等數百種傳感器測試。

SPEA可以為全球MEMS傳感器設備制造商提供完整解決方案和良好的本地化支持。除了消費電子、新能源汽車及醫療領域的MEMS器件檢測，SPEA正在進一步開拓元宇宙、智能穿戴、航天航空等市場，為更多客戶提供更智能化、更低成本、更高效的MEMS傳感器測試儀器，SPEA有望成為MEMS測試領域的領導者。