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中科院微電子所MEMS傳感器研發情況

發布時間:2016-3-25 10:22    發布者:eechina
關鍵詞: MEMS , 傳感器
智能感知研發中心主要從事半導體集成電路傳感器、包括MEMS傳感器、硅集成電路芯片以及智能感知系統等方面的研究工作。中心下設CMOS傳感器項目組、MEMS傳感器與紅外傳感器項目組、射頻模擬集成電路芯片項目組、低功耗處理器項目組、軟件算法項目組、傳感網項目組、穿戴式系統項目組、高速接口項目組及衛星導航項目組等九個主要課題組。中心面向智能工業、智能醫療和智能電網等核心應用領域,開展MEMS紅外傳感器設計、低功耗處理器芯片、電力線與物聯網通信芯片、高性能數模混合IP核、智能傳感器接口與預處理電路、高精度微波空間感知技術以及生物光電傳感器系統的應用開發。

智能感知研發中心承擔了國家科技重大專項、“863”計劃、中國科學院知識創新工程、國家自然科學基金和地方企業合作等一系列科研項目和任務。在專注于新產品與關鍵技術可發的同時,中心在學術和產業領域開展了廣泛的合作,實現產學研的有機結合。

智能感知中心專注于MEMS智能傳感器、CMOS-MEMS工藝整合、MEMS晶圓級鍵合封裝等方面的研究。目前已研發成功太赫茲成像左手材料焦平面陣列、新型 MEMS振動能量收集芯片、MEMS紅外傳感器及系統等產品。

--半導體制造
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