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中芯MEMS部門升格為獨立部門，以展現深耕MEMS市場決心。中芯表示，踏入此市場僅約1年，但預計2009年底前，已有3項商品已可進入大量投產，而市場上每項MEMS產品，中芯至少都有1個客戶，因此對中芯來說，MEMS成長潛力值得期待。 臺積電對于MEMS市場相當看好，指出進入MEMS市場到現在為止已有7年，當中已累計出多項制程及IP技術，除此之外，臺積電更已可提供標準制程，讓MEMS客戶可安心至臺積電投片，因此特地于技術論壇中廣發英雄帖，吸引各類MEMS公司下單。 為了不讓臺積電在MEMS專美于前，中芯近期特別將MEMS升格為獨立部門，附屬在中芯SoC技術發展中心下，而該部門主管將由一位資深廠長領軍。 中芯表示，中芯采用成都8吋晶圓廠投產MEMS，目前為止已有1家歐洲及1家大陸MEMS客戶進入量產階段，市場人士猜測歐洲客戶可能是意法半導體(STM)，中芯進一步表示，不僅如此，現階段中芯更已與多家MEMS客戶，共同在MEMS制程上研發，估計1~2年內將可望陸續開花結果。 中芯采取的制造流程則與臺積電相同，希望MEMS與CMOS芯片于制造過程中，?懦}愈遠愈好，原因是如硬將?琱ㄕP種類芯片擺在一起，到最后除容易出現干擾問題外，因CMOS芯片要求愈來愈小，但MEMS芯片卻無法同步縮小，恐出現頭大身小的現象。 |
