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ASML、中芯國際雙雙“表態” EUV光刻機出貨正常

發布時間:2019-11-8 10:01    發布者:eechina
關鍵詞: ASML , 光刻機 , 中芯國際
來源:科創板日報

  去年4月,中芯國際向荷蘭ASML公司訂購了一臺EUV光刻機,用于研究7nm及以下的先進工藝。花費超過1.2億歐元(約10億人民幣),預計今年底交貨,2020年正式安裝。來自日經新聞消息稱,因為受到美國政府關切,ASML將延后對中國晶圓代工企業中芯國際出貨。

  消息發酵后,中芯國際股價因此受挫,今日跌幅一度超過6%。

  對此ASML與中芯國際均對此表示否定。

  11月7日下午,ASML向《科創板日報》獨家回應稱,對于日經新聞報道的關于交貨時程僅為其媒體推測,ASML從未評論或確認,對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述,表示抗議。

  ASML相關負責人強調:“實際上在我們第三季度財報中,就已經將相關情況進行說明,根據瓦圣納協議(Wassenaar Arrangement),ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經于到期前重新進行申請,目前正在等待荷蘭政府核準。因此,關于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的,ASML系遵循法規行事,并一視同仁地服務我們全球客戶。”

  對于何時能拿到許可證,ASML相關負責人表示,目前處于正常的流程狀態中,尚未掌握確切的時間。

  中芯國際剛剛也進行回應:“極紫外光(EUV)還在紙面工作階段,未進行相關活動。公司先進工藝研發進展順利。目前,研發與生產的連結一切正常,客戶與設備導入正常運作。”

  ASML是全球EUV光刻機的唯一供應商,并且是全球市值最高的芯片設備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 (約 92 億美元) 左右。其中16%來自英特爾和美光等美國公司,19%來自中國。據了解,臺積電、三星已于2019年導入量產最先端產品的EUV設備,且蘋果預計2020年下半開賣的新型iPhone預估就會搭載采用該技術的CPU。

  中芯國際是我國最大的半導體制造公司,今年14nm制程已經實現量產,追平臺聯電14nm制程工藝,如果未能準時拿到最先進光刻機設備,或影響趕超臺積電的日程表。

  目前臺積電臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,不過量產的7nm制程仍是基于DUV(深紫外)工藝,今年3月份才啟動7nm EUV的量產。而三星在去年就小規模投產了7nm EUV。

  不過,業內人士透露,這批設備仍預計將在 2019 年底前出貨,并且在 2020 年底前完成裝機。

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