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美科學家用普通紙張制作出低成本MEMS元件

發布時間:2010-1-18 11:59    發布者:嵌入式公社
關鍵詞: MEMS , 科學家 , 元件 , 紙張 , 制作
美國普渡大學(Purdue University)的研究人員將普通紙張,浸在由礦物油(mineral oil)與氧化鐵納米粒子的混合物中,并用該種材料制作小型的懸臂(cantilever),就能利用磁場使其移動或振動;而這種技術將可催生低成本 MEMS元件,用以制造立體聲麥克風、小型機器人或馬達等,提供各種具潛力的應用。

研究人員指出,那些應用包括用以操控細胞的微型鑷夾,以及微創手術(minimally invasive surgery)所需的靈活機械手指等。該種紙張上涂佈了生物相容的塑膠薄膜,因此能防水,避免液體蒸發并增進其機械特性。

“懸臂致動器通常是硅晶制成,不但昂貴、還需要特別的無塵室設備才能生產;”領導以上研究的普渡大學電子/電腦工程暨生物醫療工程教授Babak Ziaie表示:“該種鐵紙(ferropaper)材料,不但成本低、容易替換,所生產的元件價格也會只有硅元件的百分之一;只要在紙張上滴一小滴,就能把它變成致動器或是馬達。”

Ziaie并指出,因為這種技術成本低廉又不需要特別的實驗室設備,也可供社區大學或是高中應用在微型機器人或是其他工程與科學理論的課程上。
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