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來源：TechWeb 據國外媒體報道，光刻機制造商阿斯麥的CEO兼總裁彼得·維尼克(Peter Wennink)，在本周前往了韓國，出席華城半導體集群的動工儀式。 而外媒的報道顯示，在韓國期間，除了與韓國相關的業務，彼得·維尼克還透露了他們下一代極紫外光刻機，也就是多家客戶期待的高數值孔徑極紫外光刻機的消息。 從外媒的報道來看，彼得·維尼克是在當地時間周二于首爾的一場新聞發布會上，透露高數值孔徑極紫外光刻機的消息的，他透露將在2024年開始出貨。 此外，彼得·維尼克在會上還透露，就長期而言，他們計劃每年生產20臺高數值孔徑極紫外光刻機。 阿斯麥官網公布的消息顯示，他們的高數值孔徑極紫外光刻機，將命名為EXE系列，數值孔徑將由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工藝。 從阿斯麥此前在財報中披露的消息來看，他們的EXE系列高數值孔徑極紫外光刻機，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200兩個型號，前者在2018年就已開始獲得客戶的訂單，后者在去年四季度也獲得了首臺訂單。 雖然彼得·維尼克透露他們的高數值孔徑極紫外光刻機在2024年就將開始出貨，但后續還需要進行安裝和測試，因而他們的客戶還需要一段時間才能投入生產。 阿斯麥在官網上也披露，他們向客戶供應的首臺以研發為目的的高數值孔徑極紫外光刻機，預計在2023年底出貨，用于大規模生產的，預計2025年開始在客戶的工廠全面投入運營。 |
