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來源：快科技 9月1日消息，ASML方面已經(jīng)表示，將在年底前向中國客戶交付部分先進(jìn)芯片制造裝備。 據(jù)美國媒體報(bào)道稱，ASML已經(jīng)獲得荷蘭官方的允許，在今年年底前向中國客戶出口其部分先進(jìn)工具。 按照ASML的說法，在2023年的剩余時間里，ASML將能繼續(xù)出貨其NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號的產(chǎn)品，這些產(chǎn)品從9月1日起就受到限制。 至于2024年是不是可以繼續(xù)，ASML則表示暫時不能確定。 據(jù)ASML官網(wǎng)提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。 ASML官網(wǎng)上關(guān)于這一臺TWINSCAN NXT:1980Di的介紹，其中在分辨率方面，寫到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而這是指一次曝光的分辨率，事實(shí)上光刻機(jī)是可以進(jìn)行多次曝光的。 |
