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4月23日，復(fù)旦大學(xué)先進(jìn)光刻膠材料教育部工程研究中心（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中心”）正式揭牌成立。來(lái)自學(xué)術(shù)界、產(chǎn)業(yè)界的二十余位專(zhuān)家學(xué)者齊聚一堂，共同見(jiàn)證這一國(guó)家戰(zhàn)略科技力量的誕生。該中心聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)核心材料——高端光刻膠的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，旨在通過(guò)產(chǎn)學(xué)研深度融合，突破“從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線”的技術(shù)瓶頸，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)邁向全球價(jià)值鏈高端提供關(guān)鍵支撐。 聚焦國(guó)家戰(zhàn)略需求，構(gòu)建多學(xué)科交叉創(chuàng)新平臺(tái) 在揭牌儀式上，復(fù)旦大學(xué)副校長(zhǎng)姜育剛表示，光刻膠作為芯片制造的“血液”，其技術(shù)水平直接決定集成電路的工藝精度與產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。然而，我國(guó)高端光刻膠市場(chǎng)長(zhǎng)期被日美企業(yè)壟斷，國(guó)產(chǎn)化率不足5%，嚴(yán)重制約芯片制造自主可控進(jìn)程。此次成立的工程研究中心整合了復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院、化學(xué)系、高分子科學(xué)系及材料科學(xué)系的多學(xué)科優(yōu)勢(shì)，并聯(lián)合上海華力集成電路制造有限公司、蘇州潤(rùn)邦半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)鏈龍頭企業(yè)，形成“基礎(chǔ)研究-工程化開(kāi)發(fā)-產(chǎn)業(yè)應(yīng)用”的全鏈條創(chuàng)新體系。 中心主任伍強(qiáng)教授在專(zhuān)題報(bào)告中提出“設(shè)計(jì)-基礎(chǔ)設(shè)施協(xié)同優(yōu)化（DICO）”技術(shù)路線，即通過(guò)AI算法優(yōu)化光刻膠分子結(jié)構(gòu)與光刻工藝參數(shù)的匹配性，結(jié)合量子化學(xué)模擬提升材料穩(wěn)定性，最終實(shí)現(xiàn)14nm及以下先進(jìn)制程光刻膠的工程化量產(chǎn)。這一路線已在實(shí)際案例中取得突破：通過(guò)引入AI驅(qū)動(dòng)的分子動(dòng)力學(xué)模擬，某型號(hào)ArF光刻膠的分辨率從45nm提升至28nm，工藝窗口擴(kuò)大30%。 產(chǎn)業(yè)界領(lǐng)軍專(zhuān)家領(lǐng)銜技術(shù)委員會(huì)，模塊化研發(fā)加速技術(shù)迭代 為確保技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)需求精準(zhǔn)對(duì)接，中心組建了由17位行業(yè)領(lǐng)軍專(zhuān)家構(gòu)成的技術(shù)委員會(huì)。其中，上海華力集成電路制造有限公司首席技術(shù)官周文湛擔(dān)任主任，蘇州潤(rùn)邦半導(dǎo)體CTO馬曉明、浙江新盈電子首席科學(xué)家方書(shū)農(nóng)任副主任。技術(shù)委員會(huì)提出“模塊化研發(fā)與優(yōu)化”策略，將光刻膠配方設(shè)計(jì)、光刻工藝適配、缺陷控制等環(huán)節(jié)拆解為獨(dú)立模塊，通過(guò)AI驅(qū)動(dòng)的并行實(shí)驗(yàn)平臺(tái)加速迭代。 周文湛在發(fā)言中透露，中心已與騰訊量子實(shí)驗(yàn)室、張江國(guó)家實(shí)驗(yàn)室達(dá)成合作，將量子計(jì)算應(yīng)用于光刻膠分子設(shè)計(jì)，預(yù)期可將研發(fā)周期從傳統(tǒng)方法的3-5年縮短至18個(gè)月。此外，針對(duì)EUV光刻膠研發(fā)中的關(guān)鍵難題——金屬離子污染控制，中心聯(lián)合華力微電子開(kāi)發(fā)出新型螯合劑，使金屬離子殘留量從10ppm降至0.5ppm以下，達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。 產(chǎn)教融合培養(yǎng)復(fù)合型人才，百億級(jí)市場(chǎng)空間待開(kāi)拓 揭牌儀式后，與會(huì)專(zhuān)家圍繞“光刻材料與工藝人才培養(yǎng)”展開(kāi)專(zhuān)題研討。復(fù)旦大學(xué)研究生院副院長(zhǎng)梅永豐宣布，中心將增設(shè)“微納制造材料與工藝”微專(zhuān)業(yè)，聯(lián)合企業(yè)開(kāi)設(shè)“光刻膠工程化開(kāi)發(fā)實(shí)踐”課程，學(xué)生需完成6個(gè)月以上產(chǎn)業(yè)基地實(shí)習(xí)方可畢業(yè)。蘇州潤(rùn)邦半導(dǎo)體已承諾每年提供20個(gè)實(shí)習(xí)崗位，并設(shè)立“光刻膠創(chuàng)新獎(jiǎng)學(xué)金”，用于獎(jiǎng)勵(lì)在材料合成、光刻工藝優(yōu)化等領(lǐng)域取得突破的學(xué)生團(tuán)隊(duì)。 據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，到2027年，全球高端光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將突破120億美元，其中中國(guó)市場(chǎng)需求占比將達(dá)35%。中心副主任馬曉明指出，國(guó)產(chǎn)光刻膠若能實(shí)現(xiàn)28nm制程全覆蓋，預(yù)計(jì)可帶動(dòng)國(guó)內(nèi)芯片制造企業(yè)成本下降18%-22%，并推動(dòng)5G通信、人工智能、智能汽車(chē)等領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。 開(kāi)放協(xié)同打造創(chuàng)新生態(tài)，助力上海全球科創(chuàng)中心建設(shè) 作為復(fù)旦大學(xué)“新工科”建設(shè)的重要載體，該中心與已成立的復(fù)旦大學(xué)材料科學(xué)智能研究中心、復(fù)旦大學(xué)-陶氏功能材料聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室形成協(xié)同效應(yīng)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，復(fù)旦大學(xué)在先進(jìn)材料領(lǐng)域已承擔(dān)國(guó)家級(jí)科研項(xiàng)目42項(xiàng)，近三年在《自然》《科學(xué)》等頂刊發(fā)表光刻膠相關(guān)論文17篇，申請(qǐng)核心專(zhuān)利68項(xiàng)。 上海市科委相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，中心的建設(shè)將強(qiáng)化上海在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的創(chuàng)新策源能力。未來(lái)三年，上海計(jì)劃投入15億元支持光刻膠產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)，包括建設(shè)國(guó)家級(jí)光刻膠檢測(cè)認(rèn)證平臺(tái)、組建光刻膠產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟等。隨著學(xué)敏高等研究院（獲校友捐贈(zèng)10億元）、空間互聯(lián)網(wǎng)研究院等機(jī)構(gòu)的相繼落地，復(fù)旦大學(xué)正加速向全球頂尖研究型創(chuàng)新型大學(xué)邁進(jìn)。 結(jié)語(yǔ) 從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線，從分子設(shè)計(jì)到晶圓良率，復(fù)旦大學(xué)先進(jìn)光刻膠材料教育部工程研究中心的成立，標(biāo)志著我國(guó)在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域邁出關(guān)鍵一步。隨著產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新的深入推進(jìn)，中國(guó)有望在3-5年內(nèi)突破高端光刻膠的自主化瓶頸，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈注入新的變量。正如姜育剛副校長(zhǎng)所言：“在復(fù)旦大學(xué)建校120周年之際，我們要以‘板凳甘坐十年冷’的定力，為科技自立自強(qiáng)寫(xiě)下屬于這一代人的注腳。” |
