可以通過各種燃料進行供電的片上燃料電池日前由日本科學家發明。據稱，可通過選擇不同的燃料適應筆記本電腦、移動電話等的應用。 目前許多研究小組正在努力將常規燃料電池微型化，但迄今 ...

三星電子公司目前正在開發一款專用于緊湊型數碼相機的MEMS快門，并已在相關學術會議上進行過報導。 該MEMS快門為直徑2.2mm的圓形，通過在玻璃基板上成型薄膜實現。即在玻璃基地上采 ...

陀螺儀是一種能夠精確地確定運動物體方位的儀器，它是現代航空、航海、航天和國防工業中廣泛使用的一種慣性導航儀器，它的發展對一個國家的工業，國防和其他高科技的發展具有十分重要的戰略意義 ...

　　從2007年到2012年，MEMS市場的年復合增長率將達到14%。為了滿足市場需求，MEMS企業和Foundry（晶圓代工廠）都在提高生產制造水平，擴大自己的產能。而MEMS的制造也將從現在的5英寸和6英寸線 ...

1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業生產、氣象預報、氣候分析、環境監測、航空航天等方面發揮著不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...

1 引言 　　MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產、成本低的優 ...

1 引言 　　風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個 ...

一、引言  MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新科技，其研究開發主要集中在微傳感器、微執行器和微系統三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成 ...

MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分，是在融合多種微細加工技術，并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發展起來的高科技前沿學科。MEMS是一種全新的必須同 ...

在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數對于魚類仿生推進機理研究及工程應用具有重要的意義；然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀測方法。這種方法受到環 ...

　　作為中國最早做傳感器的專家之一，上海傳感器協會秘書長顏重光表示如今國內MEMS產業化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著較大差距。　　顏重光指出，MEMS與機械類傳感器相比，精度相 ...